菲希爾光譜儀 X射線熒光鍍層測厚儀使用性能主要技術(shù)指標(biāo)：（標(biāo)★為重要參數(shù)）

1、測量原理：X射線熒光光譜法測量鍍層厚度

2、測量方式：無損檢測，可自動聚焦

3、元素測量范圍: Cl（17）--U（92），多可測量24種元素23層鍍層。

★4、手動X/Y平臺,移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm

5、電動Z軸，手動/自動聚焦，可移動范圍≥140mm

★6、采用DCM（測量距離補(bǔ)償法）可遠(yuǎn)距離對焦測量腔體樣品，可達(dá)80mm深度

★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調(diào)節(jié)，以滿足不同的測試需求。

★8、準(zhǔn)直器：φ0.3的圓形準(zhǔn)直器

9、X射線探測器：比例接收器

10、統(tǒng)計計算：數(shù)據(jù)組帶時間和時期功能，統(tǒng)計功能包含平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、大值、小值等；還可輸入公差范圍，計算CP和Cpk值，超范圍值時儀器應(yīng)有自動報警提示功能

11、windows7以上中文操作界面，WinFTM專業(yè)測試軟件，具備連接PC和打印機(jī)的USB借口

★12、測量誤差：鍍層厚度≥0.5um時，頂層鍍層測量精度≤5%

★13、采用*基本參數(shù)法，內(nèi)置12純元素頻譜庫，可實現(xiàn)無標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下測量

★14 MQ值顯示，用于判定測量程式是否與樣品匹配，避免誤操作

★15、標(biāo)準(zhǔn)片：配備12種基準(zhǔn)純元素（Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr）。

16、具備高分辨率CCD攝像頭，放大倍數(shù)40-160倍。

★17、儀器應(yīng)具有環(huán)保部門出具的輻射豁免管理函

18、計算機(jī)控制系統(tǒng)：I5處理器，8G內(nèi)存，500G硬盤，19寸液晶顯示器，彩色噴墨打印機(jī)。

19、工作環(huán)境條件：操作溫度范圍：10℃~40℃；相對濕度：20%～80%；